Interféromètres à lumière blanche
17/09/2024
Les interféromètres à lumière blanche de Micro-Epsilon créent une nouvelle référence en matière de mesure de distance et d’épaisseur de haute précision.
Ces capteurs permettent d’obtenir des résultats de mesure stables avec une résolution inférieure au nanomètre en offrant une plage de mesure et un écartement de base relativement grand.
Contrairement aux interféromètres laser, il est ainsi possible avec ces interféromètres d'effectuer des mesures de distance absolues, même en cas de sauts de signaux. Des résolutions de l'ordre du picomètre sont ainsi réalisées.
Pour l’intégration des interféromètres dans des environnements exigeants et exigus , de nouveaux capteurs sont disponibles avec différents types de construction et de propriétés. Grâce à son trajectoire de rayon de 90°, le IMP-DS0.5/90/VAC peut être monté même dans des espaces de montage à faible hauteur. Le nouveau capteur miniature IMP-DS1/VAC compte parmi les plus petits capteurs optiques de Micro-Epsilon. Avec un diamètre de 4 mm et un câble intégré, ce capteur peut également être utilisé dans des espaces de montage extrêmement réduits. Les capteurs et le câble se prêtent aussi bien pour la salle blanche que pour le vide.
Les interféromètres sont disponibles en 4 séries : le IMS5400-DS pour la mesure de distance industrielle de haute précision, le IMS5400-TH pour la mesure d’épaisseur précise et le IMS5600-DS utilisable en vide pour les mesures de distance avec une résolution de l’ordre du picomètre. L'IMS5420-TH est utilisé pour mesurer l'épaisseur des wafers.
