De nouveaux capteurs miniatures pour les interféromètres interferoMETER 5400-DS et 5600-DS de Micro-Epsilon
17/01/2025
Ces capteurs miniatures pour interféromètres sont conçus pour être utilisé sous vide et permet une intégration peu encombrante grâce à une trajectoire de rayon de 90 degrés.
Les interféromètres absolus interferoMETER 5400-DS et 5600-DS sont utilisés pour la mesure de distance avec une précision nanométrique
Ces capteurs pour interféromètres sont conçus pour des applications de haute précision dans des environnements de salle blanche et sous vide, par exemple pour des mesures sur des tranches de silicium revêtues. Une variante UHV non magnétique en titane permet en outre une application dans des champs magnétiques puissants, apparaissant par exemple dans la technique médicale utilisant le spin nucléaire ou le microscope à faisceau électronique.
La construction avec une trajectoire de rayon de 90° réduit considérablement la profondeur d’installation nécessaire. En fonction du contrôleur sélectionné, des linéarités de < ±50 nm ou < ±10 nm sont possibles. Pour une intégration optimale dans différents systèmes de commande et différents programmes de production, ces interféromètres absolus innovants disposent de nombreuses options de connexion. Celles-ci comprennent aussi bien des interfaces numériques comme Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET et EtherNet/IP qu’une sortie analogique. Comme auparavant, la configuration du contrôleur et de ses capteurs est effectuée entièrement par l’interface web, sans logiciel supplémentaire.
