Platines de positionnement piézoélectriques XYZ série QNP3

Conçues pour assurer un positionnement 3D d’extrême précision, ces platines piézoélectriques associent une résolution inférieure au nanomètre, une dynamique élevée et d'excellentes performances géométriques dans un format compact à trois degrés de liberté.

Elles disposent d'une ouverture centrale de 40 mm x 40 mm avec une course en boucle fermée de 100 μm x 100 μm x 10 μm (course en boucle ouverte de 120 μm x 120 μm x 12 μm). Cette conception est idéale pour la microscopie à balayage ou la microscopie optique, ainsi que pour les applications d'inspection ou de fabrication dans lesquelles un accès sur les deux faces d'une pièce est nécessaire en même temps qu’une manutention sur trois degrés de liberté. 

• Conception à cinématique parallèle haute précision

Les platines piézoélectriques QNP3 s'appuient sur un design de cinématique parallèle par flexion optimisé par éléments finis afin de garantir une précision multiaxe supérieure, une rigidité élevée et une longue durée de vie. La rigidité et la fréquence de résonance élevées permettent de hautes cadences et une excellente bande passante en boucle fermée. 

La système d'entraînement en instance de brevet limite les erreurs de lacet en X et en Y, tout en maintenant un système métrologique qui respecte le principe d'Abbe. Elle permet d'obtenir des performances de positionnement inégalées sur toute la longueur des courses XY. Les actionneurs et les capteurs capacitifs de l'axe Z sont conçus pour offrir un feedback conforme au principe d'Abbe dans la direction verticale avec un minimum d'erreurs géométriques.

• Des performances sub-nanométriques

Les platines QNP3 sont disponibles en boucle fermée ou en boucle ouverte. La conception exclusive de métrologie parallèle par capteur capacitif mesure directement la sortie du chariot de positionnement, fournissant une résolution inférieure au nanomètre, des erreurs de linéarité inférieures à 0,01 % et une répétabilité de l'ordre du nanomètre. 

• Contrôle d'ultra-haute précision

Associées aux contrôleurs et entraînements série Q d'Aerotech, les platines QNP3 offrent une résolution de positionnement et une stabilité en position (jitter) inférieures au nanomètre, tout en maintenant une bande passante de positionnement élevée. Les logiciels avancés comme « Dynamic Controls Toolbox » et « Motion
Designer » offrent une multitude d'outils extrêmement efficaces et simples d'utilisation, comme le contrôle d'apprentissage itératif, la suppression des harmoniques et le profilage de commande, qui améliorent les erreurs de poursuite et optimisent les mouvements « step and settle ». Des contrôleurs versions OEM sont aussi possibles. 

• Options de design

Une plaque de montage en option permet une installation directe sur les tables optiques. Un plateau plein est également disponible. Les platines piézoélectriques QNP3 sont disponibles dans des matériaux personnalisés et des versions préparées sous vide sur demande.